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本发明公开了通过利用来自表面（１３０、２３０）的反射光（１１１、２１１）产生干涉图案（３１０）来追踪在所述表面（１３０、２３０）上的移动的系统、方法和设备。其中作为传感器（３０１、３０２、３０３、３０４、３０５）在所述表面上移动的结果，生成...
该专利属于安捷伦科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安捷伦科技有限公司授权不得商用。

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