下载一种具有高热阻绝热层的氧化钒选通管及其制备方法的技术资料

文档序号:29291250

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本发明公开了一种具有高热阻绝热层的氧化钒选通管及其制备方法,属于微纳米电子技术领域。氧化钒选通管包括底电极层、顶电极层以及设置在底电极层和顶电极层之间的功能层,功能层包括开关层和热阻层;开关层的材料含有氧化钒,热阻层的材料的热阻高于开关层的...
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