下载基于AlN基板的p沟道增强型GaN/AlN异质结场效应管及制备方法的技术资料

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本发明涉及一种基于AlN基板的p沟道增强型GaN/AlN异质结场效应管及制备方法,该场效应管包括自下而上依次层叠设置的衬底、AlN层、本征GaN层和p
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