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本申请涉及用于确定晶片缺陷的设备和方法。一种用于确定半导体制造中的晶片缺陷的检查系统可以包含：图像捕获装置，用于捕获晶片图像；和分类卷积神经网络CNN，用于从多个类别中确定所捕获的图像的分类。多个类别中的每个指示晶片中缺陷的类型。所述系统还...
该专利属于美光科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过美光科技公司授权不得商用。

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