下载宽谱线高分辨率光学系统的技术资料

文档序号:29278313

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本发明提供一种宽谱线高分辨率光学系统,其包括:光源单元、照明单元、成像单元;光源单元包括:光源以及聚光元件,照明单元包括:第一照明镜头、匀光部件、第二照明镜头,经过第二照明镜头的光束投射至第二照明面;成像单元包括:第一成像镜头,其包括依次设...
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