温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种具有清洁功能的基板传送系统，包括：传送装置，用于承载和运送基板；振动发生装置，设于所述传送装置上；以及气体吹扫装置，设置于所述传送装置的行进方向的一侧。在所述传送装置运送所述基板时，所述振动发生装置振动所述基板，同时，所述气...
该专利属于TCL华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过TCL华星光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。