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铝碳化硅热沉基板制备方法及铝碳化硅热沉基板技术
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文档序号:29218515
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本发明提供一种铝碳化硅热沉基板制备方法,制备碳化硅粉料和胶体,将碳化硅粉料加至胶体中进行造粒,采用热等静压方式,对造粒粉施加设定压力和温度,经过设定保压烧结时间后得到碳化硅陶瓷预制体;采用真空压力溶渗法,将碳化硅陶瓷预制体放入浸渗炉中,在真...
该专利属于珠海亿特立新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海亿特立新材料有限公司授权不得商用。
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