下载抛光冶具以及抛光装置的技术资料

文档序号:29210066

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本发明涉及一种抛光冶具以及抛光装置,抛光冶具包括抛光夹具,所述抛光夹具上形成抛光口以及包裹所述抛光口设置的防护部,所述防护部用于包覆待抛光件的边缘区域,所述抛光口用于使待抛光件的抛光区域露出于所述的抛光夹具,所述防护部朝向所述抛光口中心的表...
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