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本发明提出了一种特气化学品模拟仿真系统平台装置,其能够直观展示系统架构、提高调试效率、便于工程师验证优化系统自动控制程序,其包括上位机、特殊气体供应监控系统、化学品供应监控系统,其特征在于:所述特殊气体供应监控系统具体为:所述上位机通过通讯...该专利属于中国电子系统工程第二建设有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子系统工程第二建设有限公司授权不得商用。
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本发明提出了一种特气化学品模拟仿真系统平台装置,其能够直观展示系统架构、提高调试效率、便于工程师验证优化系统自动控制程序,其包括上位机、特殊气体供应监控系统、化学品供应监控系统,其特征在于:所述特殊气体供应监控系统具体为:所述上位机通过通讯...