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本申请涉及一种扫描探针显微镜系统及其测量方法，首先根据实际工作模式向导电针尖自感应探针发送对应的探针激发信号使其振动，之后采集导电针尖自感应探针工作振动时的压电响应信号进行分析，得到探针本征机械振动频率变化量。最终进行反馈分析得到实际检测时...
该专利属于广州中源仪器技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州中源仪器技术有限公司授权不得商用。

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