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本申请涉及一种单片晶圆清洗方法，晶圆朝上由清洗液喷管喷出清洗液进行清洗，再由清水喷管喷出清水，以去除晶圆上的清洗剂残留，使用清洗液喷管和清水喷管时，通过旋转清洗液喷管和清水喷管使之对应到达晶圆上方，无须使用则将清洗液喷管和清水喷管移走以防止...
该专利属于亚电科技南京有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过亚电科技南京有限公司授权不得商用。

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