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本发明提出了一种探测反射光变化的装置及方法，通过透射具有第一偏振态的入射光束，并将具有第一偏振态的入射光束进行场强分割形成第一场强分布，准直汇聚具有第一偏振态和第一场强分布的入射光束照射至物体表面以形成具有第一偏振态和第二场强分布的反射光束...
该专利属于上海精测半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精测半导体技术有限公司授权不得商用。

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