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本发明公开了一种位移装置，包括支撑体，位移体；两个导向组件，设置于支撑体与位移体间并位于位移体的相对两侧；每个导向组件均包括能沿X轴方向相对位移地设置的多个部分；每个导向组件的各个部分分别与位移体和支撑体固定连接；每个导向组件包括沿X轴方向...
该专利属于上海隐冠半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海隐冠半导体技术有限公司授权不得商用。

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