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本实用新型公开了一种ITO平面靶材清洗固定装置，包括侧板、固定架、底杆；所述侧板采用两片且分列于两侧，所述侧板上部设有手提孔；本清洗固定装置使用时,将板状的ITO平面靶材的一端从上固定架的两根相邻的纵杆之间插入，再插入下固定架的两根相邻的纵...
该专利属于广东凯盛光伏技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东凯盛光伏技术研究院有限公司授权不得商用。

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