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本发明涉及薄膜太阳能电池技术领域，尤其涉及一种大面积铜铟镓硒电池组件生产装置及其方法，包括沿送料方向依次设置的钼层印刷组件、中间转运组件、三靶溅射组件及硒化组件；钼层印刷组件、中间转运组件、三靶溅射组件及硒化组件分别设置有第一遮挡部、第二遮...
该专利属于保定嘉盛光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过保定嘉盛光电科技股份有限公司授权不得商用。

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