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本发明公开了一种基于光谱分辨干涉的线轮廓测量方法，包括以下步骤：步骤1、将光脉冲分束成参考光和测量光，引入色散，使测量光的脉冲展宽；步骤2、将参考光和展宽的测量光经扩束后分别由参考镜和待测样品反射到成像光谱仪，获取线轮廓的干涉光谱；步骤3、...
该专利属于中国石油大学(华东)所有，仅供学习研究参考，未经过中国石油大学(华东)授权不得商用。

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