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本发明公开了一种压力平衡装置,包括:主路管道,包括第一进气口和第一出气口,第一出气口与反应腔连通;废气管道,包括第二进气口和第二出气口;至少一个反应气体管道,每个反应气体管道包括第三进气口和第三出气口,第三出气口分别与第一支路和第二支路连接...该专利属于上海思擎企业管理合伙企业(有限合伙)所有,仅供学习研究参考,未经过上海思擎企业管理合伙企业(有限合伙)授权不得商用。
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本发明公开了一种压力平衡装置,包括:主路管道,包括第一进气口和第一出气口,第一出气口与反应腔连通;废气管道,包括第二进气口和第二出气口;至少一个反应气体管道,每个反应气体管道包括第三进气口和第三出气口,第三出气口分别与第一支路和第二支路连接...