下载一种金刚线切割液及其制备方法的技术资料

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本发明公开了一种金刚线切割液及其制备方法,属于硅加工技术领域。该金刚线切割液包括以下重量份的各组分:聚乙二醇40‑60份、润滑剂10‑20份、散热剂1‑5份、阴离子表面活性剂1‑2份、防腐剂0.5‑2份、去离子水40‑50份。本发明的金刚线...
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