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基于聚硅氧碳的碳化硅材料、应用和器件制造技术
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下载基于聚硅氧碳的碳化硅材料、应用和器件的技术资料
文档序号:29146890
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有机硅化学、聚合物衍生的陶瓷材料和方法。用于制备具有3个9、4个9、6个9或更高纯度的聚硅氧碳(SiOC)和碳化硅(SiC)材料的材料和方法。使用所述高纯度SiOC和SiC的方法和制品。...
该专利属于帕里杜斯有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过帕里杜斯有限公司授权不得商用。
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