下载一种降低硅片表面划痕的升棒方法的技术资料

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本发明公开了一种降低硅片表面划痕的升棒方法,切割完成的硅片,通过切片机纵向进给系统向上运行逐渐将切割完成的硅片抬离至线网上方,整个抬棒过程金刚线线网保持在0.02 M/S‑0.1 M/S速度范围内慢速走线,从切割完毕抬棒起始位置至初始20m...
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