下载芯片毛边蚀刻机的腐蚀液腐蚀系统的技术资料

文档序号:29137049

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本发明提供了一种芯片毛边蚀刻机的腐蚀液腐蚀系统,在腐蚀液输送的圆形管道上的后端连接转接头的一个侧面,转接头的另一个侧面是矩形面,矩形面上具有两排平行设置的多个细小的出液孔,每个出液孔上连接有锥形喷头。本发明采用化学腐蚀技术和机械切割的组合技...
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