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一种用于制备多材料三维微纳结构的复合型光刻胶及其应用制造技术
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下载一种用于制备多材料三维微纳结构的复合型光刻胶及其应用的技术资料
文档序号:29131819
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本发明属于激光直写技术领域,更具体地,涉及一种用于制备多材料三维微纳结构的复合型光刻胶及其应用。其将自由基单体、自由基光引发剂、自由基交联剂、阳离子单体和阳离子光引发剂混合均匀,得到复合型光刻胶,然后将飞秒激光聚焦在复合型光刻胶之中,控制飞...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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