下载用于检验半导体石英坩埚外形态及标识检测点的检具的技术资料

文档序号:29131679

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本实用新型的用于检验半导体石英坩埚外形态及标识检测点的检具包括至少两个结构相同的检测板,检测板的内侧的上端为弧形,检测板的弧度与合格坩埚的底部的弧度相同,检测板的内侧的下端竖直向下,检测板的内侧的下端的边沿到检具的中心的水平距离与合格坩埚的...
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