下载一种晶体生长方法及装置的技术资料

文档序号:29126912

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本发明提供了一种晶体生长方法及装置,该方法包括:(1)准备阶段:将组装好的坩埚置于炉体内,炉体外套设有石英管,石英管包括石英管内层、夹层和石英管外层;夹层内设置有喷液板,喷液板上开设有多个第一喷液口;石英管内层开设有多个第二喷液口;(2)长...
该专利属于山东天岳先进科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东天岳先进科技股份有限公司授权不得商用。

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