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本发明公开一种蓝宝石晶体生长热场结构及其生长方法,包括坩埚的侧、顶和底部均设置加热器,分别为侧加热器、顶加热器和底加热器,这些加热器可独立控制功率。所述生长方法中原位退火包括:侧和底加热器分别缓慢降低功率,顶加热器缓慢增加功率,直到顶部测温...该专利属于内蒙古晶环电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古晶环电子材料有限公司授权不得商用。
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