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一种用于连续直拉单晶的熔融硅加料器制造技术
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下载一种用于连续直拉单晶的熔融硅加料器的技术资料
文档序号:29126900
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本发明的实施例提供一种用于连续直拉单晶的熔融硅加料器,包括:开放式坩埚,所述开放式坩埚具有位于顶部的顶部开口和位于下部的注入口,所述开放式坩埚接收并容纳固态硅原料;加热器,所述加热器对开放式坩埚进行加热,使得其中的固态硅熔融,并且通过开放式...
该专利属于上海引万光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海引万光电科技有限公司授权不得商用。
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