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一种基于切克劳斯基法的单晶硅拉制装置制造方法及图纸
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文档序号:29126896
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一种基于切克劳斯基法的单晶硅拉制装置,包括有真空筒体、用于存储液态硅的可旋转石英坩锅和用于抓取晶种的电控机械爪,所述装置还包括有用于转动和升降电控机械爪的旋转单元、用于切换旋转单元转动和升降功能的切换单元、用于为电控机械爪提供晶种的晶种单元...
该专利属于杨伟洛所有,仅供学习研究参考,未经过杨伟洛授权不得商用。
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