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一种用于光学薄膜元器件的连续真空镀膜生产线及方法技术
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下载一种用于光学薄膜元器件的连续真空镀膜生产线及方法的技术资料
文档序号:29126673
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本发明提供一种用于光学薄膜元器件的连续真空镀膜生产线及其方法,其包括镀膜室、前输送轨道、后输送轨道、电动移动板车和镀膜架子;通过前输送轨道、承载轨道和后输送轨道的设置,能够实现轨道的对接和分离,并且在对接的时候完成镀膜挂架的自动移动转移,而...
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