下载一种大口径高压金属软管内壁镀膜装置的技术资料

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本实用新型提供了一种大口径高压金属软管内壁镀膜装置,涉及金属管件内壁镀膜技术领域。该装置包括真空腔室、真空检测系统、抽真空系统,真空腔室内部装有三个水平设置的溅射靶源,真空腔室外部上方设有第一驱动电源、第二驱动电源、第三驱动电源,第一驱动电...
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