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本发明公开了一种液体喷射流道，属于MEMS工艺技术领域；包括基底层、腔壁层和喷孔层，所述基底层中部设置进墨通道，所述腔壁层设置有压力腔，所述喷孔层设置喷孔，所述基底层上依次设置腔壁层和喷孔层，所述压力腔分别与进墨通道和喷孔连通，所述进墨通道...
该专利属于苏州印科杰特半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州印科杰特半导体科技有限公司授权不得商用。

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