温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种用于光器件耦合的气浮装置，它包括支撑台、球座、浮动球、压缩空气接头以及真空接头，支撑台为圆柱形支撑台，且支撑台的内部具有安装腔，球座为圆筒形结构，且球座的内侧壁上开设有环形凹槽，球座的侧壁上对称开设有第一气路以及第二气路，第一...
该专利属于深圳市亚微科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市亚微科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。