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本实用新型公开了一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构，该用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构，在使用过程中真空电机能够通过连轴节和螺杆带动直线运动平台在滑块的作用下沿导轨滑动，同时步进电机能够通过连轴节、旋转台驱动轴...
该专利属于无锡量子感知研究所所有，仅供学习研究参考，未经过无锡量子感知研究所授权不得商用。

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