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一种基于SnSe/SnO2多层球壳/Si异质结的自驱动光电探测器及其制备方法技术
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下载一种基于SnSe/SnO2多层球壳/Si异质结的自驱动光电探测器及其制备方法的技术资料
文档序号:29079352
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本发明属于光探测技术领域,具体涉及一种自驱动光电探测器,该自驱动光电探测器,由上至下依次包括导电银胶点电极、金属钯前电极、硒化锡纳米薄膜层、二氧化锡多层球壳结构薄膜层、硅单晶基底和金属铟背电极。二氧化锡多层球壳结构薄膜层通过水热法、煅烧法、...
该专利属于中国石油大学(华东)所有,仅供学习研究参考,未经过中国石油大学(华东)授权不得商用。
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