下载一种风管连接结构及沉积炉的技术资料

文档序号:29079247

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本发明属于沉积炉技术领域,一方面公开了一种风管连接结构,该风管连接结构包括套设于风管外的第一套管、第二套管及管帽,第一套管固设于内胆上,并从内胆延伸至隔热层中,第一套管与风管之间设有第一间隙,以使风管能够沿第一套管的延伸方向滑动并能够阻挡保...
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