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本实用新型公开了一种承载装置及检测设备,所述承载装置包括吸附支撑组件、升降机构组件和基板;所述升降机构组件位于所述吸附支撑组件的下方,所述吸附支撑组件设有若干竖向的通孔,所述升降机构组件设有用于穿过所述通孔以进行托举的支撑杆,所述吸附支撑组...该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种承载装置及检测设备,所述承载装置包括吸附支撑组件、升降机构组件和基板;所述升降机构组件位于所述吸附支撑组件的下方,所述吸附支撑组件设有若干竖向的通孔,所述升降机构组件设有用于穿过所述通孔以进行托举的支撑杆,所述吸附支撑组...