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可感测低频力与高频力的力感测装置制造方法及图纸
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文档序号:29063750
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本发明公开一种可感测低频力与高频力的力感测装置,其中该力感测装置包括中央部、固定部、第一感测部、第二感测部、第一机电元件及第二机电元件。中央部可承受第一力量及第二力量,其中第一力量的第一频率低于第二力量的第二频率。第一感测部连接中央部且第二...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。
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