下载一种光源精度可调节式激光器的技术资料

文档序号:29054124

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本发明提供了一种光源精度可调节式激光器,包括:激光单元,分别设置于激光单元左右两侧且与激光单元同轴设置的电子显微镜和校测位移传感器;所述激光单元内部沿轴向设有激光通道,且所述激光通道沿轴向方向贯穿激光单元的一端,并在贯穿处安装有振镜以及设置...
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