下载一种用于LED芯片表面的粗化方法及具粗化表面的LED芯片的技术资料

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本发明提供了一种用于LED芯片表面的粗化方法及具粗化表面的LED芯片,本发明提供的用于LED芯片表面的粗化方法,通过将导电基板与外延结构键合后,利用腐蚀截止层作为DE刻蚀时的刻蚀截止,从而在沟槽内部ICP刻蚀气体截止,第一层胶充当粗化掩膜版...
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