下载一种硅基LED及其制备方法的技术资料

文档序号:29046890

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本发明涉及一种硅基LED的制备方法,包括以下步骤:在硅衬底的抛光一侧表面设置一层银膜,对所述硅衬底进行腐蚀,得到表面粗糙的硅基衬底;在所述硅基衬底表面设置一层硅纳米晶薄膜;在所述硅纳米晶薄膜远离所述硅基衬底的一侧设置一层表面等离激元;在所述...
该专利属于贵州民族大学所有,仅供学习研究参考,未经过贵州民族大学授权不得商用。

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