下载集成肖特基二极管的碳化硅MOSFET器件及其制备方法的技术资料

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一种集成肖特基二极管的碳化硅MOSFET器件及其制备方法,涉及半导体技术领域。该器件的P阱区和P+区相邻,N+区位于P阱区内,P+区与N+区相邻;欧姆接触金属位于肖特基接触金属与栅氧化层之间,栅氧化层上形成有多晶硅栅电极,多晶硅栅电极和栅氧...
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