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本发明提供一种有助于抑制顶端部的磨损的工艺装备。工艺装备包含无心磨削装置(10A)的托板(200)。托板(200)具有：顶端部(400)，其与被加工物(W)接触；主体部(300)，其支承顶端部(400)；以及变形控制部(340)，其促进由施...
该专利属于三星钻石工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星钻石工业株式会社授权不得商用。

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