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气体感测装置及气体浓度感测方法制造方法及图纸
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文档序号:28974742
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本发明公开一种气体感测装置及气体浓度感测方法,其中该气体感测装置适用于感测一待测气体中一目标气体的浓度,此气体感测装置包括介电层、参考感材部、目标感材部及控制器。介电层设置于一表面上,参考感材部及目标感材部设置于介电层的承载侧,且承载侧背向...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。
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