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一种硅片夹取装置制造方法及图纸
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文档序号:28962566
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本发明涉及硅片运输技术领域,具体涉及一种硅片夹取装置。本发明包括安装座,安装座上设置有轨道,轨道上对称设置有滑块,安装座上位于所述轨道两端设置有导轮,导轮上设置有传动带,滑块上设置有与传动带啮合的啮合板,安装座上设置有驱动导轮旋转的电机,滑...
该专利属于无锡市江松科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡市江松科技有限公司授权不得商用。
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