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一种用于单晶硅棒的切割装置制造方法及图纸
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下载一种用于单晶硅棒的切割装置的技术资料
文档序号:28959609
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本发明涉及一种用于单晶硅棒的切割装置,包括固定箱、底座、切割机构、移动机构和夹持机构,所述切割机构包括驱动箱、转杆和刀片,所述夹持机构包括活塞筒、抵靠板、移动杆、弹簧、活塞和夹持组件,所述移动机构包括丝杆、轴承座、走位环、连接杆、移动块和定...
该专利属于王慧芝所有,仅供学习研究参考,未经过王慧芝授权不得商用。
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