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本发明涉及位移装置技术领域，且公开了一种高频往复精密位移装置，包括驱动单元，其固定设置于基座表面；弹簧组件，其存储或释放从所述驱动单元获得的能量，所述驱动单元驱动弹簧组件往复运动；弹簧刚度调节组件，其用于调节所述弹簧组件的刚度。该种高频往复...
该专利属于佛山市华道超精科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过佛山市华道超精科技有限公司授权不得商用。

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