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一种基于Bragg光栅和横向波导结构的雪崩光电探测器制造技术
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下载一种基于Bragg光栅和横向波导结构的雪崩光电探测器的技术资料
文档序号:28946119
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本发明公开了一种基于Bragg光栅和横向波导结构的雪崩光电探测器,包括:衬底;形成于衬底之上的波导,用于光传输并将光场耦合到吸收层,同时作为电荷层对吸收层和倍增层的电场进行调节;位于波导两侧的倍增层,用于提供载流子雪崩倍增效应;位于倍增层两...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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