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一种晶圆良率问题数据库的搜索方法和装置制造方法及图纸
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下载一种晶圆良率问题数据库的搜索方法和装置的技术资料
文档序号:28941846
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本发明实施例提供了一种晶圆良率问题数据库的搜索方法和装置,晶圆良率问题数据库为预先建立的,其中包括多个失效类别及其相关的失效特征和对应的指证性数据,该方法包括:在多个第一晶圆图中确定存在预定的失效模式的若干第二晶圆图;提取第二晶圆图的第一失...
该专利属于筏渡(上海)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过筏渡(上海)科技有限公司授权不得商用。
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