下载具有弯曲焦面或目标基准元件和场补偿器的共焦成像设备的技术资料

文档序号:28940342

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一种共焦成像设备,包括产生光束阵列的照明模块。聚焦光学器件将光束阵列共焦聚焦到非平坦焦面上,并且将光束阵列导向待成像的三维对象。平移机构调整至少一个透镜的位置,以使非平坦焦面沿着成像轴移位。检测器测量返回光束阵列的强度,该返回光束从三维对象...
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