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本申请提供一种具有单独调谐的光栅区段的单次刻蚀的宽带宽光栅耦合器。本文中的示例涉及单次刻蚀层光栅耦合器。具体而言，本文中的实施方式涉及包括平面波导的单次刻蚀层光栅耦合器，其中，第一光栅区段和第二光栅区段被刻蚀在其中。第一光栅区段被配置为以相...
该专利属于慧与发展有限责任合伙企业所有，仅供学习研究参考，未经过慧与发展有限责任合伙企业授权不得商用。

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