温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种稳定的气体流量控制系统，包括滤膜夹持装置、小孔流量计模块、真空抽气泵、控制器，滤膜夹持装置包括可夹持滤膜的滤膜夹，滤膜夹持装置下端通过转换接口和小孔流量计模块的前端相连接，小孔流量计模块的后端通过管路和真空抽气泵相连接，...
该专利属于康姆德润达(无锡)测量技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过康姆德润达(无锡)测量技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。